你用的是99.999%的高纯气体吗？

通常半导体生产行业，高纯气体厂家将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展，对气体工业的产品提出了越来越多的需求，国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多，而且气体纯度越来越高，其含量常常在99.999%以上。

高纯气体广泛应用于电子产品、半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程，半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求都十分严格，需要对气体中微量（ppm）、痕量（ppb）级成分进行分析。

PDD模块化脉冲放电氦离子化检测器

模块化脉冲放电氦离子化检测器(PDD)是一款具有超高灵敏度的通用型检测器，对所有的物质均具有较高的灵敏度，因此，该检测器常被用于高纯气体中杂质的分析，其检测限能达到ppb级别。

TRACE 1300 GC 系列即时连接脉冲放电检测器 (PDD)

高纯气体分析方案

高纯气体分析方案采用PDD气相色谱检测系统，能实现对多种高纯气体（Ne、H2、O2、N2、Ar、Kr、CH4、CO、CO2等）的分析。对几乎所有的无机和有机化合物均有很高的响应，分析重复性良好，检出限低，适合多数痕量分析方法测试的要求。

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